Морфологический разбор

вакуумметрией
имя существительное

Произношение
вакуумме́три́ей
Начальная формавакуумметрия
Типнарицательное
Одушевленностьнеодушевлённое
Склонение1-e склонение, на -ия
Родженский
Числоединственное
Падежтворительный

Склонение существительного «вакуумметрией»

падежед. ч.мн. ч.
Им.вакуумметриявакуумметрии
Рд.вакуумметриивакуумметрий
Дт.вакуумметриивакуумметриям
Вн.вакуумметриювакуумметрии
Тв.вакуумметриейвакуумметриями
Пр.вакуумметриивакуумметриях

Морфемный разбор (по составу) существительного «вакуумметрией»

вакуумметрией

вакуум — корень,

метр — корень,

и — суффикс,

ей — окончание.