| Произношение | вакуумме́три́ями |
| Начальная форма | вакуумметрия |
| Тип | нарицательное |
| Одушевленность | неодушевлённое |
| Склонение | 1-e склонение, на -ия |
| Род | женский |
| Число | множественное |
| Падеж | творительный |
вакуум — корень,
метр — корень,
и — суффикс,
ями — окончание.