| Произношение | микроинтерферо́метрам |
| Начальная форма | микроинтерферометр |
| Тип | нарицательное |
| Одушевленность | неодушевлённое |
| Склонение | 2-e склонение |
| Род | мужской |
| Число | множественное |
| Падеж | дательный |
микро — приставка,
интерфер — корень,
о — соединительная гласная,
метр — корень,
ам — окончание.