| Произношение | эллипсоме́трией |
| Начальная форма | эллипсометрия |
| Тип | нарицательное |
| Одушевленность | неодушевлённое |
| Склонение | 1-e склонение, на -ия |
| Род | женский |
| Число | единственное |
| Падеж | творительный |
эллипс — корень,
о — соединительная гласная,
метр — корень,
и — суффикс,
ей — окончание.