| Произношение | электронолитогра́фия |
| Начальная форма | электронолитография |
| Тип | нарицательное |
| Одушевленность | неодушевлённое |
| Склонение | 1-e склонение, на -ия |
| Род | женский |
| Число | единственное |
| Падеж | именительный |
электр — корень,
о — соединительная гласная,
н — суффикс,
о — соединительная гласная,
лит — корень,
о — соединительная гласная,
граф — корень,
и — суффикс,
я — окончание.